高剛性・精密型自動ステージ / OSMS26-200(XY)-INCH

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

在庫お問合せ

品番
OSMS26-200(XY)-INCH
¥296,000
◦レールの形状は、U字形として軽量化をはかり、たわみを最小に抑えた高剛性仕様となっています。
その他の情報
カタログコード W9068
RoHS Yes
CE Yes
資料ダウンロード
CADデータ
ご案内 ▶モータ交換等をご希望される場合は営業までお問合せください。WEB参照/カタログコードW9500(お問合せシート)
▶グリース変更(WEB参照/カタログコードW9006)はオプションで対応可能です。
▶ご所有のX軸ステージと新規でお買い求めのX軸ステージを当社にて組付けを行う場合は別途費用がかかります。
3D_CAD



仕様
メカ仕様
移動量200mm
テーブル面サイズ120×120mm
送りネジボールネジ径φ8mm、リード2mm
移動ガイドアウターレール構造
ステージ上面材質アルミ
表面処理黒アルマイト
質量8.8kg
精度仕様
分解能(Full)4μm/パルス
分解能(Half)2μm/パルス
MAXスピード40mm/sec
耐荷重98N(10.0kgf)
バックラッシ3μm
運動の直交度10μm
センサ
センサ品番マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱)
リミットセンサ有(NORMAL CLOSE)
原点センサ有(NORMAL OPEN)
近接原点センサ有(NORMAL OPEN)
モータ
モータ タイプ5相ステッピングモータ 0.75A/相
(オリエンタルモーター㈱)
モータ 品番PK525HPB-C4(□28mm)
モータ ステップ角0.72°
センサ 電源電圧DC5~24V±10%
センサ 消費電流160mA以下(1軸あたり80mA以下、1センサあたり20mA以下)
センサ 制御出力NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
センサ 出力論理遮光時 : 出力トランジスタOFF(非導通) : リミットセンサ
遮光時 : 出力トランジスタON(導通) : 原点センサ、近接原点センサ
参考:単軸(X軸)の精度仕様
位置決め精度15μm
繰返し位置決め精度6μm
モーメント剛性/ピッチング0.23″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング0.12″/N・cm
モーメント剛性/ローリング0.2″/N・cm
ロストモーション5μm
平行度50μm
走り平行度10μm
制御系
適応ドライバSG-5M、SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL
適応コントローラGSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103