メカ仕様
移動量	500mm
テーブル面サイズ	120×120mm
送りネジ	ボールネジ径φ10mm、リード10mm
移動ガイド	アウターレール構造
ステージ上面材質	アルミ
表面処理	黒アルマイト
質量	10.1kg
精度仕様
分解能（Full）	20μm/パルス
分解能（Half）	10μm/パルス
MAXスピード	120mm/sec
位置決め精度	25μm
繰返し位置決め精度	6μm
耐荷重	196N(20.0kgf)
モーメント剛性/ピッチング	0.12″/N･cm
モーメント剛性/ヨーイング	0.08″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	0.1″/N･cm
ロストモーション	5μm
バックラッシ	3μm
平行度	50μm
走り平行度	25μm
ピッチング	40″
ヨーイング	25″
センサ
センサ品番	マイクロフォトセンサ:GP1S092HCPIF(シャープ㈱)
リミットセンサ	有(NORMAL CLOSE)
近接原点センサ	有(NORMAL OPEN)
原点センサ	有(NORMAL OPEN)
モータ
モータタイプ	5相ステッピングモータ 0.75A/相 (多摩川精機㈱)
モータ品番	TS3667N43E967(□42mm)
モータステップ角	0.72°
センサ
センサ電源電圧	DC5～24V±10％
センサ消費電流	80mA以下(1センサあたり20mA以下)
センサ制御出力	NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
センサ出力論理	遮光時 : 出力トランジスタOFF(非導通) : リミットセンサ遮光時 : 出力トランジスタON(導通) : 原点センサ、近接原点センサ
制御系
適応ドライバ	MC-S0514ZU、SG-514MSC､MC-S7514PCL
適応コントローラ	SHOT-702H､SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-MV・HIT-SA、PGC-04-U、HSC-103