シグマファインステージ(高剛性タイプ) / SFS-H40Z(CL)
デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
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品番
SFS-H40Z(CL)
¥250,000
◦デジタルセンサ採用によりフルクローズ制御ができる為、高精度・高分解能の位置決め可能なピエゾステージです。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm~100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ)を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
(WEB参照/カタログコードW9057)
繰り返し周波数はSFS-H(直動)において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm~100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ)を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
(WEB参照/カタログコードW9057)
繰り返し周波数はSFS-H(直動)において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
カタログコード | W9054 |
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RoHS | No |
CE | No |
資料ダウンロード | |
CADデータ | |
ご注意 | ▶クローズ時の移動量は、オープン時より約20%低減します。 |
3D_CAD | |
アクチュエータ | ピエゾアクチュエータ |
軸タイプ | Z軸 |
テーブル面サイズ | 40×40mm |
リニアリティ | <0.3% |
移動量(オープン制御時) | 100μm±15% |
繰返し位置決め精度 | <0.1μm |
質量 | 0.28kg |
垂直度(水平方向) | 1μm |
対応ケーブル | ケーブル(2m)付属 |
耐荷重 | 6.9N(0.7kgf) |
微小変位センサ | デジタルセンサ |
分解能(クローズ時) | 10nm |
理論分解能(オープン時) | 1nm |