シグマファインステージ（高剛性タイプ） / SFS-H60XYZ(CL)
デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
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品番
SFS-H60XYZ(CL)
◦デジタルセンサ採用によりフルクローズ制御ができる為、高精度・高分解能の位置決め可能なピエゾステージです。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm～100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ）を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
（WEB参照/カタログコードW9057）
繰り返し周波数はSFS-H(直動）において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
◦ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm～100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。クローズ制御時は、移動量が20%低減します。
◦位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ）を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
◦当社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
（WEB参照/カタログコードW9057）
繰り返し周波数はSFS-H(直動）において、繰り返し周波数10〜15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
| カタログコード | W9054 |
|---|---|
| RoHS | No |
| CE | No |
| 資料ダウンロード | |
| CADデータ | |
| ご注意 | ▶クローズ時の移動量は、オープン時より約20％低減します。 |
| 3D_CAD | |
| アクチュエータ | ピエゾアクチュエータ |
| 軸タイプ | XYZ軸 |
| テーブル面サイズ | 60×60mm |
| リニアリティ | ＜0.5％ |
| 移動量（オープン制御時） | 100μm±15％ |
| 繰返し位置決め精度 | ＜0.15μm |
| 質量 | 0.63kg |
| 垂直度（水平方向） | 1μm |
| 対応ケーブル | FINE-CA-3：ピエゾ用 DS1-CA-3：デジタルセンサ用 |
| 耐荷重 | 9.8N（1.0kgf） |
| 微小変位センサ | デジタルセンサ |
| 分解能（クローズ時） | 10nm |
| 理論分解能（オープン時） | 1nm |
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