X軸ピエゾアシストステージ / TADC-651SR25UUPA
手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mm、65x65mmをラインナップしています。TADC-PAシリーズの紹介動画はこちらからご確認ください。
在庫あり
品番
TADC-651SR25UUPA
¥71,500
- ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。
カタログコード | W7156 |
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RoHS | Yes |
CE | Yes |
資料ダウンロード | |
CADデータ | |
ご案内 |
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ご注意 |
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テーブル面サイズ | 65×65mm |
微動最小分解能 | 20nm以下 |
マイクロメータ最小読取 | 0.01mm |
マイクロ操作位置 | サイド |
モーメント剛性/ピッチング | 0.3″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 0.3″/N・cm |
移動ガイド | ボールガイド |
移動精度/真直度 | 3μm |
移動平行度 | 10μm |
移動量/1回転 | 0.5mm |
許容モーメント荷重/ピッチング | 4.9N・m |
許容モーメント荷重/ヨーイング | 4.9N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 4.9N・m |
質量 | 0.36kg |
主要材質 | アルミ |
粗動移動量 | ±12.5mm |
耐荷重 | 49N(5kgf) |
微動移動量 | 30µm以上 |
表面処理 | 黒アルマイト |
平行度 | 30μm |
動画 |