オートフォーカス（分離方式） / TAF-ES-DM-40
ワイドスポットで、対象物表面をセンシングします。
フォーカスポイントの表面状態（エッジ・段差）によるフォーカスブレを大幅に低減します。
フォーカスポイントの表面状態（エッジ・段差）によるフォーカスブレを大幅に低減します。
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品番
TAF-ES-DM-40
【特徴】
◦観察光学系とオートフォーカス光学系が独立しているため、低倍～高倍観察まで高精度なオートフォーカスが可能です。
◦レーザ光を利用してフォーカスズレを確認しているため、ガラスやフィルムのような透明な対象物にもオートフォーカスが可能です。
◦装置組込みを意識した小型・コンパクト設計。
◦同軸落射照明光学系を標準装備。
◦2/3インチ以下のCCDカメラ（Cマウント）に対応。
◦観察光学系とオートフォーカス光学系が独立しているため、低倍～高倍観察まで高精度なオートフォーカスが可能です。
◦レーザ光を利用してフォーカスズレを確認しているため、ガラスやフィルムのような透明な対象物にもオートフォーカスが可能です。
◦装置組込みを意識した小型・コンパクト設計。
◦同軸落射照明光学系を標準装備。
◦2/3インチ以下のCCDカメラ（Cマウント）に対応。
| カタログコード | W2013 |
|---|---|
| RoHS | No |
| CE | No |
| 資料ダウンロード | |
| CADデータ | |
| カメラ | CマウントCCDカメラ（素子サイズ2/3"以下） |
| 対物レンズ | 2×～50× （外径≦φ32mm、WD11mm≧の対物レンズ） |
| トレース範囲 （追従可能範囲） | 鏡面体 ： ±3mm 透明体 ： 別途お問合せ （参考）厚さ0.7mm、ガラス±0.3mm |
| フォーカスアクチュエータ | ステッピングモータ駆動ステージ |
| 移動量 | 10mm |
| 応答周波数 | 約5Hz（鏡面体段差±10μm） |
| 合焦方式 | 半導体レーザ（クラス3R相当、光出力4.5mW以下、波長（670nm）によるOff-axis（レンズ外部）反射アクティブ方式 |
| 再現性（フォーカス） | ±0.5μm |
| 質量（ヘッド部） | 2.2kg |
| 照明光学系 | 同軸落射照明（開口絞り付き） |
