ハイパワーレーザ用誘多膜平面ミラー / TFMHP-25.4C05-193

エネルギーが大きい、パルスNd-YAGレーザ(またはYb-YLFレーザ)やエキシマレーザの光学系に使用するためのミラーです。
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品番
TFMHP-25.4C05-193
¥40,500
◦YAGレーザの波長に合わせ、基本波(1064nm)から4倍波(266nm)までのミラーとArF(193nm)、KrF(248nm)のエキシマレーザ用のミラーをご用意しています。
◦高い反射率が得られるので、ミラーを複数枚反射させても、光量は大きく減衰しません。
◦吸収がない誘電体多層膜を使用しているので、高出力レーザの連続照射にも耐えられます。
その他の情報
カタログコード W3006
RoHS Yes
CE No
資料ダウンロード
ご案内 ▶カタログ掲載以外のサイズや波長特性のミラーの製作も承ります。お問合せシートをご利用ください。WEB参照/カタログコードW3800
▶低散乱基板にハイパワーレーザ用誘多膜のコートもできます。WEB参照/カタログコードW3140
▶レーザ耐力はISO21254に準拠した200 on 1の試験を行っています。(参照 光学データ>レーザ耐力
▶コート後の面精度保証をしている面精度保証ミラー(HTFM)もご用意しています。
WEB参照/カタログコードW3002
▶各波長ごとの「波長特性データ」(参考データ、反射率の単位はR[%])はこちらをご参照ください。
ご注意 ▶入射レーザビームのエネルギー密度がレーザ耐力を超えていないことを確認してからご使用ください。
▶レーザのビームをレンズや凹面反射で細く絞り込んで入射させた場合、エネルギー密度がレーザ耐力を超え、ミラーが破損する恐れがあります。
▶入射ビームの光量が大きい場合、ビームがミラーを透過することがあります(透過率1%以下)。必ずミラーの裏面側にも遮光板で迷光を遮断してください。
▶紫外域のミラーでは蛍光を発生する場合があります。ミラーの蛍光を問題にされる方は、営業までご相談ください。
▶誘電体多層膜は入射ビームの偏光状態により反射率波長特性が変わります。P偏光はS偏光に比べて反射率が低く、反射帯域も狭くなります。
▶仕様の反射率は、P偏光とS偏光の反射率の平均値で表しています。
▶適応波長以外の波長で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。
仕様
材質BK7
コーティング誘電体多層膜
入射角度45°±3°
基板面精度λ/10
平行度<3′
スクラッチ-ディグ10−5
有効径外径の90%
裏面研磨面
適応波長193nm
外径 φDφ25.4mm
厚さ t5mm
反射率>95%