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ガラススケール内蔵小型自動ステージ / TSDM(GS)60-10ZF

高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。

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品番
TSDM(GS)60-10ZF
◦リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
◦線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
◦サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。
その他の情報
カタログコード W9038
RoHS Yes
CE No
CADデータ
仕様
MAXスピード2mm/sec
軸タイプZ軸
ステージ材質
センサ品番PM-F24(SUNX㈱)
テーブル面サイズ60×60mm
バックラッシ5μm
ピッチング15″
モーメント剛性/ピッチング2″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング2″/N・cm
モーメント剛性/ローリング
ヨーイング
リミットセンサ有(NORMAL CLOSE)
ロストモーション0.5μm
位置決め精度2μm
移動ガイドボールガイド
移動量10mm
運動の垂直度8μm
運動の平行度
近接原点センサ
繰返し位置決め精度0.5μm
原点センサ
質量0.7kg
送りネジ精密研削ネジφ5mm、リード0.5mm
耐荷重19.6N(2.0kgf)
分解能(Full)1μm/パルス
分解能(Half)0.5μm/パルス
平行度50μm
モータ  ステップ角0.72°
モータ  タイプ5相ステッピングモータ 0.35A/相
(オリエンタルモーター㈱)
モータ  品番PK513PB-C9(□20mm)
適応コントローラSHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S