XY軸ステンレスステージ / TSDS-602C
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
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品番
TSDS-602C
￥82,000
| カタログコード | W7031 |
|---|---|
| RoHS | Yes |
| CE | No |
| 資料ダウンロード | |
| CADデータ | |
| ご案内 | ▶TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。 参照/真空度測定データアウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。 |
| ご注意 | ▶マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。 ▶ステージに取り付ける試料の形状により、固定出来ない場合や移動量が確保出来ない場合がありますのでご注意ください。 |
| 3D_CAD | |
| 直交度 | 10μm |
| テーブル面サイズ | 60×60mm |
| マイクロメータ最小読取 | 0.01mm |
| マイクロ操作位置 | センター |
| モーメント剛性/ピッチング | 0.41″/N･cm |
| モーメント剛性/ヨーイング | 0.41″/N･cm |
| モーメント剛性/ローリング | 0.41″/N･cm |
| 移動ガイド | ボールガイド |
| 移動精度/ピッチング | 25″ |
| 移動精度/ヨーイング | 15″ |
| 移動精度/真直度 | 0.5μm |
| 移動平行度 | 20μm |
| 移動量 | ±6.5mm |
| 移動量/1回転 | 0.5mm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 6.4N･m |
| 許容モーメント荷重/ヨーイング | 4.9N･m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 6.4N･m |
| 質量 | 0.9kg |
| 主要材質 | ステンレス |
| 耐荷重 | 343N（35.0kgf） |
| 表面処理 | 無 |
| 平行度 | 30μm |
