XY軸ステンレスステージ―M6― / TSDS-652S-M6

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース(YVAC2)を使用しています。

在庫お問合せ

品番
TSDS-652S-M6
¥82,000
その他の情報
カタログコード W7031
RoHS Yes
CE No
資料ダウンロード
CADデータ
ご案内 ▶TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。
参照/真空度測定データアウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
ご注意 ▶マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。
▶ステージに取り付ける試料の形状により、固定出来ない場合や移動量が確保出来ない場合がありますのでご注意ください。
3D_CAD



仕様
テーブル面サイズ65×65mm
マイクロ操作位置サイド
移動量±6.5mm
移動量/1回転0.5mm
マイクロメータ最小読取0.01mm
移動ガイドボールガイド
主要材質ステンレス
表面処理
耐荷重343N(35.0kgf)
移動精度/真直度0.5μm
移動精度/ピッチング25″
移動精度/ヨーイング15″
許容モーメント荷重/ピッチング8,8N・m
許容モーメント荷重/ローリング8,8N・m
許容モーメント荷重/ヨーイング4.9N・m
モーメント剛性/ピッチング0.41″/N・cm
モーメント剛性/ローリング0.41″/N・cm
モーメント剛性/ヨーイング0.41″/N・cm
平行度50μm
移動平行度20μm
直交度10μm
質量1.2kg