Z軸フラットステンレスステージ / TSDS-653UU

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース(YVAC2)を使用しています。
在庫あり
4のみ残っています
品番
TSDS-653UU
¥62,000
その他の情報
カタログコード W7043
RoHS Yes
CE No
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CADデータ
ご案内 ▶TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。
参照/真空度測定データアウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
ご注意 ▶Z軸構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することはできません。
▶テコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対する送り量にズレ(マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対し±0.02mm程度)が生じます。
▶□25mmと□40mmでは、回転方向(ヨーイング方向)に対して、高荷重をかけると故障の原因になることがありますのでご注意ください。
3D_CAD



仕様
テーブル面サイズ65×65mm
軸タイプZ軸
移動量±5mm
移動量/1回転0.5mm
マイクロメータ最小読取0.01mm
移動ガイドボールガイド
主要材質ステンレス
表面処理
耐荷重147N(15.0kgf)
移動精度/真直度2.5μm
許容モーメント荷重/ピッチング6.9N・m
許容モーメント荷重/ローリング6.9N・m
モーメント剛性/ピッチング0.51″/N・cm
モーメント剛性/ローリング0.51″/N・cm
平行度80μm
移動平行度25μm
質量1.1kg