XZ軸フラットステンレスステージ / TSDS-654C-M6
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
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品番
TSDS-654C-M6
￥103,000
| カタログコード | W7064 |
|---|---|
| RoHS | Yes |
| CE | No |
| 資料ダウンロード | |
| CADデータ | |
| ご案内 | ▶TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。 参照/真空度測定データアウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。 |
| ご注意 | ▶Z軸構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することはできません。 ▶テコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対する送り量にズレ（マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対し±0.02mm程度）が生じます。 ▶□25mmと□40mmでは、回転方向（ヨーイング方向）に対して、高荷重をかけると故障の原因になることがありますのでご注意ください。 |
| 3D_CAD | |
| テーブル面サイズ | 65×65mm |
| マイクロメータ最小読取 | 0.01mm |
| モーメント剛性/ピッチング | 0.75″/N･cm |
| モーメント剛性/ローリング | 0.75″/N･cm |
| 移動ガイド | ボールガイド |
| 移動精度/真直度 | 2.5μm |
| 移動量 | X軸：±6.5mm Z軸：±5mm |
| 移動量/1回転 | 0.5mm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 6.9N･m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 6.9N･m |
| 質量 | 1.65kg |
| 主要材質 | ステンレス |
| 耐荷重 | 147N（15.0kgf） |
| 表面処理 | 無 |
| 平行度 | 110μm |
