真空仕様自動ステージ / VSGSP20-35(X)

真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。

在庫切れ

品番

VSGSP20-35(X)

￥750,000

◦直動系は35～200mmのロングストロークを実現し、従来のSGSPシリーズと同様でコンパクト化を実現しました。

その他の情報
カタログコード	W9082
RoHS	Yes
CE	Yes
資料ダウンロード	PDF
CADデータ	DXF STP IGES SAT
ご案内	▶モータケーブルとセンサケーブルは、バラ線1ｍとなっています。 ▶真空用途に使用できる各種ベース・ホルダーもご用意しています。
MAXスピード	10mm/sec
繰返し位置決め精度	5μm
ステージ材質	アルミ・ステンレス
センサ品番	GN-PT5M3B-1（㈱メトロール）
テーブル面サイズ	60×60mm
分解能/（Full）	2μm/パルス
リミットセンサ	真空タッチセンサ（NORMAL CLOSE）
ロストモーション	3μm
移動ガイド	アウターレール構造
移動量	35mm
近接原点センサ	無
原点センサ	無
最小応答分解能（参考）	0.2μm
質量	1.0kg
送りネジ	精密研削ネジφ6mm、リード1mm
耐荷重	39.2N（4.0kgf）
表面処理	無
分解能/（Half）	1μm/パルス