真空仕様小型自動ステージ / VTAMM60S-20XY

CEに対応した真空仕様の小型自動ステージです。
真空環境での実験や真空チャンバー内での使用が可能な自動ステージです。
VTAMMのコンパクトなボディは、小型の真空装置にも設置することができ、省スペース化にも最適です。

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品番
VTAMM60S-20XY
¥960,000
その他の情報
カタログコード W9101
RoHS Yes
CE Yes
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CADデータ
ご案内

▶モータケーブルとセンサケーブルは、バラ線1mとなっています。
▶真空用途に使用できる各種ベースホルダーもご用意しています。

3D_CAD



仕様
移動量20mm
テーブル面サイズ60×60mm
送りネジ精密研削ネジφ4mm、リード0.5mm
移動ガイドクロスローラ
ステージ材質アルミ
表面処理
質量1.2kg
分解能/(Full)1μm/パルス
分解能(Half)0.5μm/パルス
MAXスピード5mm/sec
繰返し位置決め精度6μm
耐荷重19.6N(2.0kgf)
ロストモーション5μm
センサ種類GN-PT5M3B-1((株)メトロール)
リミットセンサ真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE)
原点センサ
近接原点センサ