[真空]有不同的真空度要求。不同的真空度要求一般会影响所选产品是否[能用]。这里介绍的产品,从材料选用,产品设计,到清洗 方法,包装方案都考虑了各种不同的使用要求,开封后可直接用于超高真空环境。
| 使用环境 | 超净间 | 低・中真空 | 高真空 | 超高真空 |
| 真空度 | 105Pa | 10-1Pa | 10-5Pa | 10-9Pa |
| 排气装置 | 风扇 | 回转泵 | 扩散泵 | 涡轮泵,离子泵等 |
| 主要问题 | 洁净度 | 残留气体 | 挥发性物质 | 表面吸附气体 |
| 普通产品(铝合金材料) | ◯ 要清洗 | △ 易有残留气体 | × 表面氧化孔内气体 | × 加热污染 |
| 不锈钢产品 | ◯ 要清洗 | △ 易有残留气体 | △ 需更化润滑脂 | × 加热污染 |
| 真空用零部件 | ◎ 已清洗 | ◎ 备有通气孔或槽 | ◎ 真空油脂 | ◎ 已做加热清洁处理 |
在超高真空环境下,材料本身放出的气体成分就会成为问题,所以,选用材料时,
需要认真考虑材料本身的出气量和气体成分。
● 不锈钢（SUS316L） ……...即使加热烘烤,仍能保持良好的耐腐蚀性,出气量也较少。
● 铝合金（A6061） ………….合理地表面处理之后,可良好地限制其表面劣化,减少出气量。
产品中所选用的其他材料,也都充分考虑了超高真空下的材料特性。
螺纹孔或配合部容易形成密闭空间而形成气包或气囊。抽 真空时,其中的气体很难被排净,这会严重影响腔内真空 度的稳定。此系列产品,在设计时便考虑了这个问题,所 有螺纹孔,或配合部,或可能形成密闭空间的地方,全部 设计了通气孔或槽,保证了即使在高真空环境下使用,也 能很快达到要求的真空度要求。
超高真空环境下,金属表面吸附的气体就成了问题。不锈钢或铝合金加工后,其表面很快会自动形成一层氧化膜,阻止表面的腐蚀。 但,刚加工后的表面上的油或水份等会妨碍形成完好的氧化膜,增加表面出气的可能性。所以,此系列产品,从刚加工的零件开始, 就严格及时清洗,制造工艺概要如下图所示。
在超净组装车间装配的产品,将在超净包装车间完成最后包装。包装方法也和普通产品的不一样,采用 的特殊包装方法将保证在高真空环境下使用时不容易发生质量劣化问题。
● 使用铝膜袋包装
● 使用真空袋抽真空包装
参考:此类产品的开封,希望在超净间,或真空装置的附近进行。同时,开封后希望不要暴露在常规 室内环境下太久时间,以尽量避免引发质量劣化。
我们使用组装完成的产品,实施了在真空腔内的放气实验评估。下面的例子是使用电导调制法(conductance modulation method) 测试的真空用镜架(VMHG-50.8)的出气情况。
我们的产品,通过类似的检验检测,确认设计生产工艺的合理性和正确性。
请注意,产品出货时并不附带类似的检验报告。如果您需要此类数据报告,请来信联系。
但,此类数据原则上都是有偿提供的。
| 排气时间 h |
出气量 〔Pa・ｍ3・s-1/unit〕 |
| 1 | 2.6E-07 |
| 2 | 1.8E-07 |
| 3 | 7.6E-08 |
| 4 | 3.9E-08 |
| 5 | 2.0E-08 |
电导调制法是通过测量真空装置 的电导值变化,评估排气量或真 空度的一种方法。常被用于测量 评估出气量随时间的变化情况, 或进行不同产品的出气特性的比 较实验。
种类：涡轮分子泵
型号 ： STP-301
制造商 ： 精工精机（現:Edwards）
排气速度 ： 300 ℓ /s
种类 ： 四极质谱分析仪
型号 ： M-201QA-TDM
原子质量数范围 ： 1〜200
制造商 ：Canon ANELVA Corporation
| 10小时 | 24小时 | ||
| 真空压力（Pa） | 3.06×10-6 | 1.42×10-6 | |
| 放气速度 （Pa・m3・s-1・m-2） |
2.15×10-6 | 1.08×10-6 | |
| 全全离子电流值（A） | 1.68×10-10 | 1.40×10-10 | |
| 原子质量数 | 质量比 （10小时） |
质量比 （24小时） |
气体分子 |
| 1 | 2.11 | 1.94 | H2 |
| 2 | 0.51 | 0.47 | H2 |
| 12 | 0.27 | 0.28 | CO、CO2 |
| 14 | 0.19 | 0.50 | N2 |
| 18 | 4.74 | 4.86 | H2O |
| 22 | 0.22 | 0.20 | CO2 |
| 28 | 1.52 | 0.36 | CO、CO2、N2 |
| 32 | 0.46 | 0.26 | O2 |
| 40 | 0.21 | 0.24 | Ar |
| 44 | 0.31 | 0.32 | CO2 |
