介绍
不锈钢平台在真空环境中的使用说明
实际测量了真空环境下手动不锈钢平台的挥发性气体。
实测结果表明，挥发性气体的主要成分为水分和炭化氢。我们推测，这主要是源于附着在平台上的水分和来自润滑油脂的挥发。
放出气体量
| 型号 | 放出气体量Q（排气40分钟后） | |
| (Torr·ℓ/s/unit) | (Pa·ℓ/s/unit) | |
| TSDS-602S | 3.57×10-5 | 4.76×10-3 |
| TSDS-603 | 1.65×10-5 | 2.20×10-3 |
评价装置的技术指标
排气装置 :
涡轮分子泵 STP-301
EDWARDS会社
排气速度: 300ℓ/sec
质量分析装置 :
四极质谱分析仪 QME200
PFEIFFER社制造
测量范围: 1 - 200amu
真空腔内的真空度
质量成分比例
质谱峰的解释
利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下。
残留气体谱线一览表
