Xyθ軸セット / HPS/HDS120-Xyθ-SET
お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。
XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。
XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。
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品番
HPS/HDS120-Xyθ-SET
￥683,100
◦Ethernet/RS232C/USBインターフェイスによる外部制御が可能。また、スレーブ (品番：HIT-SH) を追加すれば軸数を拡張させることも可能です。
XYθ軸セット
| 品名 | 品番 | 数量 |
| ハイパフォーマンスステージ | HPS120-60X-M5 | 2 |
| 高耐久型自動アライメントステージ | HDS-120YAW | 1 |
| 多軸リンクコントローラ (マスタ) | HIT-MV | 1 |
| 多軸リンクコントローラ (スレーブ) | HIT-SH | 3 |
| AC電源 | ― | 1 |
| D15RPケーブル | D15RP-CA-3 | 3 |
| カタログコード | W9062 |
|---|---|
| RoHS | Yes |
| CE | No |
| 資料ダウンロード | |
| ケーブル長 | 3m |
| 軸タイプ | Xyθ軸 |
| スケール付 | 無 |
| ステージ面サイズ | φ120mm |
| 移動量 | ±6°（θ軸）60mm（XY軸） |
| 耐荷重 | 58.8N（6.0kgf） |
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