θ軸透過用粗微動ステージ (KSPA)
粗動360°の回転と微動(マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式の透過用θ軸(回転)粗微動ステージです。粗動はステージ上面を直接回転させ、微動は粗動部分をクランプし、マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリュー(±3~5°)で行います。
ステージ本体にアルミを採用し、軽量で高精度な回転ステージです。 ステージ中央に貫通穴があいているタイプは、透過用としてご利用いただけます。
KSPA共通仕様
移動ガイド | すり合わせ方式 | |
---|---|---|
主要材質 | アルミ | |
表面処理 | 黒アルマイト |
KSPAシリーズ仕様
品番 | 取付規格 | 送り機構 | テーブル面 サイズ |
回転範囲 | 目盛最小読取 | マイクロメータ 最小読取 |
耐荷重 | 許容モーメント荷重 | モーメント剛性 | 平行度 | 偏芯度 | 面振れ量 | 質量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
KSPA-806M | METRIC | マイクロメータ | φ80mm | 粗動: 360° 微動: ±5° | 5′ | 約1′08.8″ | 58.8N(6.0kgf) | 1.0N・m | 0.8″/N・㎝ | 50μm | 20μm | 20μm | 0.5kg |
KSPA-806FP | METRIC | ファインピッチスクリューアジャスター | φ80mm | 粗動: 360° 微動: ±5° | 5′ | - | 58.8N(6.0kgf) | 1.0N・m | 0.8″/N・㎝ | 50μm | 20μm | 20μm | 0.5kg |
KSPA-986M | METRIC | マイクロメータ | φ98mm | 粗動: 360° 微動: ±5° | 5′ | 約52.9″ | 68.6N(7.0kgf) | 1.0N・m | 0.8″/N・㎝ | 50μm | 20μm | 20μm | 0.7kg |
KSPA-986FP | METRIC | ファインピッチスクリューアジャスター | φ98mm | 粗動: 360° 微動: ±5° | 5′ | - | 68.6N(7.0kgf) | 1.0N・m | 0.8″/N・㎝ | 50μm | 20μm | 20μm | 0.7kg |
KSPA-806MH | METRIC | マイクロメータ | φ57mm | 粗動: 360° 微動: ±5° | 5′ | 約51.6″ | 49.0N(5.0kgf) | 0.88N・m | 0.61″/N・㎝ | 30μm | 20μm | 20μm | 0.45kg |
KSPA-806FPH | METRIC | ファインピッチスクリューアジャスター | φ57mm | 粗動: 360° 微動: ±5° | 5′ | - | 49.0N(5.0kgf) | 0.88N・m | 0.61″/N・㎝ | 30μm | 20μm | 20μm | 0.45kg |
KSPA-1006MH | METRIC | マイクロメータ | φ76mm | 粗動: 360° 微動: ±5° | 5′ | 約42.1″ | 68.6N(7.0kgf) | 0.98N・m | 0.2″/N・㎝ | 40μm | 20μm | 20μm | 0.6kg |
KSPA-1006FPH | METRIC | ファインピッチスクリューアジャスター | φ76mm | 粗動: 360° 微動: ±5° | 5′ | - | 68.6N(7.0kgf) | 0.98N・m | 0.2″/N・㎝ | 40μm | 20μm | 20μm | 0.6kg |