XYZ軸フラットステンレスステージ (TSDS)
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
TSDSシリーズは、真空用途に適したステージです。アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
TSDS-XYZ軸 共通仕様
| 品番シリーズ | TSDS-255 | TSDS-405 | TSDS-605 | TSDS-655 |
|---|---|---|---|---|
| テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm |
| 移動量 | XY軸: ±3mm Z軸:±3mm |
XY軸: ±6.5mm Z軸:±3mm |
XY軸: ±6.5mm Z軸:±5mm |
XY軸: ±6.5mm Z軸:±5mm |
| 耐荷重 | 29.4N（3.0kgf） | 88.3N（9.0kgf） | 147N（15.0kgf） | 147N（15.0kgf） |
| 移動精度/真直度 | 5μm | 2.5μm | 2.5μm | 2.5μm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 1.0N･m | 3.9N･m | 6.9N･m | 6.9N･m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 1.0N･m | 3.9N･m | 6.9N･m | 6.9N･m |
| モーメント剛性/ピッチング | 10.55″/N･cm | 2.5″/N･cm | 1.0″/N･cm | 1.0″/N･cm |
| モーメント剛性/ピッチング | 10.55″/N･cm | 2.5″/N･cm | 1.0″/N･cm | 1.0″/N･cm |
| 平行度 | 130μm | 130μm | 130μm | 130μm |
| 移動ガイド | ボールガイド | |||
| 主要材質 | ステンレス | |||
| 表面処理 | 無 | |||
TSDS-XYZ軸シリーズ仕様
| 品番 | 操作位置 | 送り機構 | 取付規格 | 移動量 | 移動量/1回転 | マイクロメータ最小読取 | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TSDS-255C | センター | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±3mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.2kg |
| TSDS-255S | サイド | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±3mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.2kg |
| TSDS-405C | センター | マイクロメータ | METRIC | XY軸: ±6.5mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
| TSDS-405S | サイド | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±6.5mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
| TSDS-405CUU | センター | マイクロメータ | INCH | XY軸: ±6.5mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
| TSDS-405SUU | サイド | マイクロメータ | INCH | XY軸: ±6.5mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
| TSDS-605C | センター | マイクロメータ | METRIC | X軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 1.9kg |
| TSDS-605S | サイド | マイクロメータ | METRIC | XY軸: ±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 1.9kg |
| TSDS-655C-M6 | センター | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 2.2kg |
| TSDS-655S-M6 | サイド | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 2.2kg |
| TSDS-655CUU | センター | マイクロメータ | INCH | XY軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 2.2kg |
| TSDS-655SUU | サイド | マイクロメータ | INCH | XY軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 2.2kg |
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