Z軸フラットステンレスステージ (TSDS)
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適したフラットZ軸ステンレスステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
TSDSシリーズは、真空用途に適したステージです。アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
TSDS-フラットZ軸 共通仕様
| 品番シリーズ | TSDS-253 | TSDS-403 | TSDS-603 | TSDS-653 |
|---|---|---|---|---|
| テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm |
| 移動量 | ±3mm | ±3mm | ±5mm | ±5mm |
| 耐荷重 | 29.4N（3.0kgf） | 88.3N（9.0kgf） | 147N（15.0kgf） | 147N（15.0kgf） |
| 移動精度/真直度 | 5μm | 2.5μm | 2.5μm | 2.5μm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 1.0N･m | 3.9N･m | 6.9N･m | 6.9N･m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 1.0N･m | 3.9N･m | 6.9N･m | 6.9N･m |
| モーメント剛性/ピッチング | 7.14″/N･cm | 2.84″/N･cm | 0.51″/N･cm | 0.51″/N･cm |
| モーメント剛性/ローリング | 7.15″/N･cm | 1.84″/N･cm | 0.51″/N･cm | 0.51″/N･cm |
| 平行度 | 80μm | 80μm | 80μm | 80μm |
| 移動平行度 | 15μm | 20μm | 25μm | 25μm |
| 移動ガイド | ボールガイド | |||
| 主要材質 | ステンレス | |||
| 表面処理 | 無 | |||
TSDS-Z軸シリーズ仕様
| 品番 | 送り機構 | 取付規格 | 移動量 | 移動量/1回転 | マイクロメータ最小読取 | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| TSDS-253 | マイクロメータ | METRIC | ±3mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.1kg |
| TSDS-403 | マイクロメータ | METRIC | ±3mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.25kg |
| TSDS-403UU | マイクロメータ | INCH | ±3mm | 0.5mm | 0.01mm | 0.25kg |
| TSDS-603 | マイクロメータ | METRIC | ±5mm | 0.5mm | 0.01mm | 1.0kg |
| TSDS-653-M6 | マイクロメータ | METRIC | ±5mm | 0.5mm | 0.01mm | 1.1kg |
| TSDS-653UU | マイクロメータ | INCH | ±5mm | 0.5mm | 0.01mm | 1.1kg |
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