XY軸ピエゾアシストステージ
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手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるXY軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。
ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます。
ピエゾアシストステージ TADC-PAシリーズのご紹介
TADC-2PA XY軸共通仕様
品番シリーズ | TADC-252W | TADC-402W | TADC-602W | TADC-652W |
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テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm |
粗動移動量 | ±3mm | ±6.5mm | ±6.5mm | ±12.5mm |
微動移動量 | 25µm以上 | 30µm以上 | 30µm以上 | 30µm以上 |
移動量/1回転 | 0.5mm | |||
マイクロメータ最小読取 | 0.01mm | |||
微動最小分解能 | 20nm以下 | |||
耐荷重 | 39.2N(4.0kgf) | 49N(5.0kgf) | 49N(5.0kgf) | 49N(5.0kgf) |
移動精度/真直度 | 3μm | 3μm | 3μm | 3μm |
許容モーメント荷重/ピッチング | 1.9N・m | 2.5N・m | 4.9N・m | 4.9N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 1.9N・m | 2.5N・m | 4.9N・m | 4.9N・m |
許容モーメント荷重/ヨーイング | 1.9N・m | 2.5N・m | 4.9N・m | 4.9N・m |
モーメント剛性/ピッチング | 4.5″/N・cm | 1.22″/N・cm | 0.6″/N・cm | 0.6″/N・cm |
モーメント剛性/ローリング | 4.5″/N・cm | 1.22″/N・cm | 0.6″/N・cm | 0.6″/N・cm |
平行度 | 60μm | 50μm | 50μm | 50μm |
移動平行度 | 20μm | 20μm | 20μm | 20μm |
直交度 | 10μm | 10μm | 10μm | 10μm |
質量 | 0.14㎏ | 0.32㎏ | 0.5㎏ | 0.72㎏ |
移動ガイド | ボールガイド | |||
主要材質 | アルミ | |||
表面処理 | 黒アルマイト |
TADC-2PAシリーズ個別仕様
品番 | テーブル面サイズ | マイクロ操作位置 | 取付規格 |
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TADC-252WSPA | 25×25mm | サイド | METRIC |
TADC-252WSRPA | 25×25mm | サイド(勝手違い) | METRIC |
TADC-402WSPA | 40×40mm | サイド | METRIC |
TADC-402WSRPA | 40×40mm | サイド(勝手違い) | METRIC |
TADC-602WSPA | 60×60mm | サイド | METRIC |
TADC-602WSRPA | 60×60mm | サイド(勝手違い) | METRIC |
TADC-652WS25-M6PA | 65×65mm | サイド | METRIC |
TADC-652WSR25-M6PA | 65×65mm | サイド(勝手違い) | METRIC |
TADC-652WS25UUPA | 65×65mm | サイド | INCH |
TADC-652WSR25UUPA | 65×65mm | サイド(勝手違い) | INCH |
ピエゾアシストステージ専用コントローラ
ピエゾアシストステージシリーズを駆動させる専用コントローラです。1軸タイプと、3軸タイプをラインナップしています。
品名 | 1軸ピエゾアシストステージコントローラ | 3軸ピエゾアシストステージコントローラ | ACアダプタ |
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品番 | PASC-101 | PASC-103 | AC-ADP-0620-62368 |
製品写真 |