低散乱基板
平行平面基板に特殊な研磨を行うことで、表面粗さを0.2nm（Ra）以下にしました。
基板の散乱の影響が気になる高出力レーザ用ミラーやX線用のミラーの基板として使用できます。
ウェッジタイプはビームスプリッターなどの裏面反射の影響が気になる場合に使用します。
CaF2（フッ化カルシウム）、MgF2（フッ化マグネシウム）は紫外域及び赤外域で高い透過性があります。
表面粗さ（ミクロな凸凹）と同時に面精度（面全体の平坦さ）も高く加工されている理想に近い基板です。
共通仕様
| 材質 | 合成石英、紫外用CaF2、MgF2 |  |
|---|---|---|
| 表面粗さ | ＜0.2nm（Ra） | |
| 有効径 | 外径の90％ |
| 機能説明図 | 外形図 |
|---|---|
 |
 |
個別仕様
| 平行平面 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 品番 | 外径 φD |
厚さ t |
材質 | 面精度 | 平行度 | スクラッチーディグ |
| OPSQSP-25.4C05-10-5 | φ25.4mm | 5mm | 合成石英 | λ/10 | ＜5″ | 10−5 |
| OPSQSP-30C03-10-5 | φ30mm | 3mm | 合成石英 | λ/10 | ＜5″ | 10−5 |
| OPSQSP-30C05-10-5 | φ30mm | 5mm | 合成石英 | λ/10 | ＜5″ | 10−5 |
| OPSQSP-50C05-10-5 | φ50mm | 5mm | 合成石英 | λ/10 | ＜5″ | 10−5 |
| OPCFSP-25.4C05-10-5 | φ25.4mm | 5mm | CaF2 | λ/10 | ＜5″ | 20−10 |
| OPCFSP-30C05-10-5 | φ30mm | 5mm | CaF2 | λ/10 | ＜5″ | 20−10 |
| OPMFSP-25.4C05-10-5 | φ25.4mm | 5mm | MaF2 | λ/10 | ＜5″ | 20−10 |
| OPMFSP-30C05-10-5 | φ30mm | 5mm | MaF2 | λ/10 | ＜5″ | 20−10 |
| ウェッジ | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 品番 | 外径 φD |
厚さ t |
材質 | 面精度 | ウェッジ角度 W |
スクラッチーディグ |
| WSSQSP-30C05-10-1 | φ30mm | 5mm | 合成石英 | λ/10 | 1°±5′ | 10−5 |
| WSSQSP-50C08-10-1 | φ50mm | 8mm | 合成石英 | λ/10 | 1°±5′ | 10−5 |
| WSCFSP-30C05-10-1 | φ30mm | 5mm | CaF2 | λ/10 | 1°±5′ | 20−10 |
| WSMFSP-30C05-10-1 | φ30mm | 5mm | MaF2 | λ/10 | 1°±5′ | 20−10 |
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