低散乱基板
平行平面基板に特殊な研磨を行うことで、表面粗さを0.2nm(Ra)以下にしました。
基板の散乱の影響が気になる高出力レーザ用ミラーやX線用のミラーの基板として使用できます。
ウェッジタイプはビームスプリッターなどの裏面反射の影響が気になる場合に使用します。
CaF2(フッ化カルシウム)、MgF2(フッ化マグネシウム)は紫外域及び赤外域で高い透過性があります。
表面粗さ(ミクロな凸凹)と同時に面精度(面全体の平坦さ)も高く加工されている理想に近い基板です。
共通仕様
材質 | 合成石英、紫外用CaF2、MgF2 | |
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表面粗さ | <0.2nm(Ra) | |
有効径 | 外径の90% |
機能説明図 | 外形図 |
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個別仕様
平行平面 | ||||||
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品番 | 外径 φD |
厚さ t |
材質 | 面精度 | 平行度 | スクラッチーディグ |
OPSQSP-25.4C05-10-5 | φ25.4mm | 5mm | 合成石英 | λ/10 | <5″ | 10−5 |
OPSQSP-30C03-10-5 | φ30mm | 3mm | 合成石英 | λ/10 | <5″ | 10−5 |
OPSQSP-30C05-10-5 | φ30mm | 5mm | 合成石英 | λ/10 | <5″ | 10−5 |
OPSQSP-50C05-10-5 | φ50mm | 5mm | 合成石英 | λ/10 | <5″ | 10−5 |
OPCFSP-25.4C05-10-5 | φ25.4mm | 5mm | CaF2 | λ/10 | <5″ | 20−10 |
OPCFSP-30C05-10-5 | φ30mm | 5mm | CaF2 | λ/10 | <5″ | 20−10 |
OPMFSP-25.4C05-10-5 | φ25.4mm | 5mm | MaF2 | λ/10 | <5″ | 20−10 |
OPMFSP-30C05-10-5 | φ30mm | 5mm | MaF2 | λ/10 | <5″ | 20−10 |
ウェッジ | ||||||
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品番 | 外径 φD |
厚さ t |
材質 | 面精度 | ウェッジ角度 W |
スクラッチーディグ |
WSSQSP-30C05-10-1 | φ30mm | 5mm | 合成石英 | λ/10 | 1°±5′ | 10−5 |
WSSQSP-50C08-10-1 | φ50mm | 8mm | 合成石英 | λ/10 | 1°±5′ | 10−5 |
WSCFSP-30C05-10-1 | φ30mm | 5mm | CaF2 | λ/10 | 1°±5′ | 20−10 |
WSMFSP-30C05-10-1 | φ30mm | 5mm | MaF2 | λ/10 | 1°±5′ | 20−10 |