真空対応ピエゾドライブモータ / VPDM-13ACT
高真空のチェンバーの装置内で遠隔操作が可能な高分解能・小型アクチュエータです。マイクロメータと取付互換性があります。
電動アクチュエータの紹介動画はこちらからご確認ください。
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品番
VPDM-13ACT
¥100,000
◦取付けシャンク径はφ9.5mmの標準タイプと、φ6mmの小型タイプの2種類をご用意しています。
◦アクチュエータの先端が平面のタイプ(VPDM-**ACT)と球のタイプ(VPDM-**ACTR)をご用意しています。
◦アクチュエータの先端が平面のタイプ(VPDM-**ACT)と球のタイプ(VPDM-**ACTR)をご用意しています。
カタログコード | W8023 | ||||||||||||
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RoHS | Yes | ||||||||||||
CE | Yes | ||||||||||||
資料ダウンロード | |||||||||||||
CADデータ | |||||||||||||
ご案内 | ▶ナットおよび締め付け金具は付属しています。 ▶動作には、ピエゾドライブ専用コントローラ (PDM-ID-02) をご使用ください。 ▶アクチュエータからはリード線が出ており、チャンバの端子につなぐかリード線を外に引き出して使用します。ピエゾドライブアクチュエータにはこのリード線と接続するためのコントローラ専用接続ケーブル (1m) が付属されています。 |
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ご注意 | ▶アクチュエータ本体の追従性向上のため、適度な荷重(3N以上推奨)を設定してください。 ▶本製品は、圧電素子を用いた慣性により駆動するため、位置決めなどは精度はありません。また、個体差、アクチュエータの送り方向により速度・最小移動量にバラつきが生じます。予めご了承ください。 ▶ご所有の手動ステージと組合せをする場合には、別途承ります。営業までお問合せください。 ▶ステージと折り返しマイクロメータヘッドを一緒にご購入される場合は、組付けてご納品させていただきます。事前に営業までご連絡ください。 組合わせの仕様によっては、追加工や改造が必要になる場合があります。組付け依頼と合わせてご確認ください。 |
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仕様 |
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