▶動作には、ピエゾドライブ専用コントローラ（PDM-ID-02)をご使用ください。
▶アクチュエータからはリード線が出ており、チャンバの端子につなぐかリード線を外に引き出して使用します。ピエゾドライブアクチュエータにはこのリード線と接続するためのコントローラ専用接続ケーブル（1m）が付属されています。

ご注意

▶アクチュエータ本体の追従性向上のため、適度な荷重（3N以上推奨）を設定してください。
▶本製品は、圧電素子を用いた慣性により駆動するため、位置決めなどは精度はありません。また、個体差、アクチュエータの送り方向により速度・最小移動量にバラつきが生じます。予めご了承ください。
▶ご所有の手動ステージと組合せをする場合には、別途承ります。営業までお問合せください。
▶ステージと折り返しマイクロメータヘッドを一緒にご購入される場合は、組付けてご納品させていただきます。事前に営業までご連絡ください。組合わせの仕様によっては、追加工や改造が必要になる場合があります。組付け依頼と合わせてご確認ください。

仕様