真空仕様超音波アクチュエータ / VPKAS-13ACT

高真空のチェンバーの装置内で遠隔操作をする場合に使用する低アウトガスの超音波アクチュエータです。
電動アクチュエータの紹介動画はこちらからご確認ください。

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品番

VPKAS-13ACT

￥120,000

◦小型な外形でありながら、移動量13ｍm、高速移動0.5ｍm/secを実現します。
◦ 摺動部分のグリースには、BARRIERTA SUPER IS/Vを使用しています。

その他の情報
カタログコード	W8020
RoHS	Yes
CE	No
資料ダウンロード	PDF
CADデータ	DXF STP IGES SAT
ご案内	▶ご所有の手動ステージやホルダーと組合せをする場合には、別途承ります。営業までお問合せください。 ▶先端端子の形状変更も承ります。営業までお問合せください。 ▶真空用ミラーホルダーVMHGシリーズへお取付けの際は、特注（先端ボール仕様）で承ります。
保持力	15N
分解能	＜1μm
ケーブル長	－
質量	0.1kg
最大移動速度	＞0.5mm/s
移動量	13mm