介绍
干涉原理
把象激光这样的周期很规则的光分成2束后重新合成到一起就会观测到干涉现象。
这是一种波的叠加，它会出现波峰和波峰，或波谷和波谷的重叠，而导致周期性的明暗条纹。
这个干涉条纹，实际显示的是两束光的光程差。条纹的周期反映了一个波长长度（折返光路是其1半）的相位差。但是，不能根据干涉条纹识别波长整倍数部分的差异，所以实际观测到的是小于波长整倍数部分的相位差，或连续的相位变化。
选用He-Ne激光作为光源时，其波长为632.8mm，在折返式干涉仪中，一个条纹仅相当于约0.3微米。所以，应用干涉原理，可以测量微小的位移，或变形。
干涉仪的感度好，容易得到高精度的测量结果。但同时，也容易受到振动，或空气扰动等的影响。因此，干涉实验装置通常会设置在防振平台上，并置于暗室之中的。
用干涉仪测量面精度时，在光路的一侧放置被测样品，让被测面的反射波面和另一个来自基准面的波面叠加。
这样，我就会得到一个反映了被测面形状的弯曲的干涉条纹。
我们可从此干涉条纹的弯曲程度推测出被测面的面精度。
