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X・Y・Z方向(3次元面内)の位置決めに
使用するステージです。
光学実験などの研究開発から装置組込みまで、幅広い用途にご利用頂けます。
摩擦係数が高いために、微細な位置決めには不向きですが、簡単な位置決めを行う時には非常に有効的なステージです。
シグマ光機独自の加工技術を基に開発された製品です。
4列接触構造により高耐荷重と高剛性を実現
(V溝に比べ13倍の剛性)
図-1で示すように、ボールガイドは円弧に沿った加工を施すことでR溝となっているため、ボールとの接触がよくあらゆる方向の荷重に対し、安定した負荷能力があります。
長寿命でメンテナンスフリー
図-2で示す内容は、R溝と平面における圧力分布を示すものとなっています。
図のようにR溝にかかる圧力は分散し内部までかかっていません。これにより金属の疲労や摩耗を軽減しています。
一体(同時)加工により、高精度を実現(真直度 : 0.7µm以下)
図-3に示す上板と下板を独自に考案した加工治具により一体とし同時加工することで、それぞれの加工誤差を最小限に抑えています。
つまり、ボールを入れた状態とほぼ同じ状態で加工することで高精度を保っています。
部品点数の削減により薄型が可能
図-4は、クロスローラステージとボールガイドステージの厚さを比較したものです。
ボールガイドステージは、上板、下板各々のプレートとガイド部分が一体化することにより、薄型化を実現しました。
更にTSDTシリーズでは、
ステージ厚 : 10mmを実現しました。