始点から終点（フルストローク）までの一定方向に順次位置決めを行ない、それぞれの位置において基準位置と水平方向との変位量（差）を測定。始点と終点の偏差を0に補正後の最大値（差）を水平方向の真直度とする。

始点から終点（フルストローク）までの一定方向に順次位置決めを行ない、それぞれの位置において基準位置と垂直方向との変位量（差）を測定。始点と終点の偏差を0に補正後の最大値（差）を垂直方向の真直度とする。

始点から終点（フルストローク）までの一定方向に順次位置決めを行ない、それぞれの位置において垂直方向の傾き角度を測定。その最大角度差をピッチングとする。

始点から終点（フルストローク）までの一定方向に順次位置決めを行ない、それぞれの位置において水平方向の傾き角度を測定。その最大角度差をヨーイングとする。

ステージ等を定盤に固定。ステージ等の上面からテストインジケータを定盤上面に当て、フルストロークを移動させ測定。テストインジケータの変位値の最大差を移動平行度とする。

定盤に定置したテストインジケータを回転ステージの上面の端に当て、1回転（360°全周）移動させ測定。テストインジケータの変位値の最大差を面振れとする。