XYZ軸フラットステンレスステージ (TSDS)
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース(YVAC2)を使用しています。
TSDSシリーズは、真空用途に適したステージです。アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
TSDS-XYZ軸 共通仕様
品番シリーズ | TSDS-255 | TSDS-405 | TSDS-605 | TSDS-655 |
---|---|---|---|---|
テーブル面サイズ | 25×25mm | 40×40mm | 60×60mm | 65×65mm |
移動量 | XY軸: ±3mm Z軸:±3mm |
XY軸: ±6.5mm Z軸:±3mm |
XY軸: ±6.5mm Z軸:±5mm |
XY軸: ±6.5mm Z軸:±5mm |
耐荷重 | 29.4N(3.0kgf) | 88.3N(9.0kgf) | 147N(15.0kgf) | 147N(15.0kgf) |
移動精度/真直度 | 5μm | 2.5μm | 2.5μm | 2.5μm |
許容モーメント荷重/ピッチング | 1.0N・m | 3.9N・m | 6.9N・m | 6.9N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 1.0N・m | 3.9N・m | 6.9N・m | 6.9N・m |
モーメント剛性/ピッチング | 10.55″/N・cm | 2.5″/N・cm | 1.0″/N・cm | 1.0″/N・cm |
モーメント剛性/ピッチング | 10.55″/N・cm | 2.5″/N・cm | 1.0″/N・cm | 1.0″/N・cm |
平行度 | 130μm | 130μm | 130μm | 130μm |
移動ガイド | ボールガイド | |||
主要材質 | ステンレス | |||
表面処理 | 無 |
TSDS-XYZ軸シリーズ仕様
品番 | 操作位置 | 送り機構 | 取付規格 | 移動量 | 移動量/1回転 | マイクロメータ最小読取 | 質量 |
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TSDS-255C | センター | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±3mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.2kg |
TSDS-255S | サイド | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±3mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.2kg |
TSDS-405C | センター | マイクロメータ | METRIC | XY軸: ±6.5mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
TSDS-405S | サイド | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±6.5mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
TSDS-405CUU | センター | マイクロメータ | INCH | XY軸: ±6.5mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
TSDS-405SUU | サイド | マイクロメータ | INCH | XY軸: ±6.5mm Z軸:±3mm |
0.5mm | 0.01mm | 0.55kg |
TSDS-605C | センター | マイクロメータ | METRIC | X軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 1.9kg |
TSDS-605S | サイド | マイクロメータ | METRIC | XY軸: ±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 1.9kg |
TSDS-655C-M6 | センター | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 2.2kg |
TSDS-655S-M6 | サイド | マイクロメータ | METRIC | XY軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 2.2kg |
TSDS-655CUU | センター | マイクロメータ | INCH | XY軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 2.2kg |
TSDS-655SUU | サイド | マイクロメータ | INCH | XY軸:±6.5mm Z軸:±6.5mm |
0.5mm | 0.01mm | 2.2kg |